Athena

Athena

Probe Card Analyzer completamente automatizzato

Ridefinisce le performance nell’analisi delle Probe Card

Athena by Technoprobe

 

Athena è uno strumento di metrologia di nuova generazione progettato per eseguire misurazioni ottiche, meccaniche ed elettriche POR sulle Probe Card con prestazioni superiori.

Guarda il video

Allineamento ottico 3 volte più veloce

Flying probe loopback

Specifiche di allineamento verticale di 6 µm

Forza di 600 kg

Verifica dei collegamenti 3 volte più rapida

Misurazione della planarità ottica

Possibili configurazioni:

Athena with debug station

Probe Card analyzer con debug station

Permette un’analisi approfondita delle Probe Card e test al 100%.
Compatibile con le motherboard legacy.

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Athena with autoloader

Probe Card analyzer con autoloader

Ideale per l’HVM throughput, consente la raccolta di dati statistici su diverse Probe Card.

Highlight

  • Misurazione ottica ad alta precisione della posizione delle probe in X, Y e Z, inclusa la planarità

  • Misurazione di probe a fine-pitch, fino a 25 µm

  • Supporto per molteplici tipologie di probe in un singolo array

  • Sistema di visione flessibile e ricco di funzionalità per una vasta gamma di tipi di probe

  • Morfologia 3D della punta della probe

  • Misurazione della lunghezza libera della punta della probe

  • Elevato numero di canali: 9216

  • Misurazione della planarità elettrica con e senza caricamento

  • Test loopback DC

  • Test board-only

  • Stabilità della resistenza di contatto su diverse metallurgie delle punte delle probe

  • Test ad alta frequenza (loopback AC)

  • Forza elevata sull’array fino a 600 kg

  • Compatibile con wafer interi da 12’’/300 mm

  • Closed-loop stages con encoder da 0,01 μm

  • Alta precisione e stabilità: dimostrata correlazione tra strumenti su tutta la flotta

  • Interfaccia intercambiabile: compatibile con probecard di qualsiasi piattaforma tester (V93k, Ultraflex, HDMT…)

  • Completamente automatizzato: esecuzione di qualsiasi suite di test

  • Analisi dei dati di test

  • Opzioni: autoloader per molteplici probecard o debug station

dimensioni athena

Potenzialità di misurazione

Allineamento ottico tramite sistema di ispezione 3D (WLI, interferometro a luce bianca)

Planarità elettrica senza carico tramite post

Planarità elettrica con carico tramite piastra

Resistenza di contatto su piastra conduttiva

Leakage in condizioni di overtravel e senza carico

Test dei condensatori con misurazione del valore in farad

Test delle resistenze con misurazione del valore in ohm

Verifica della continuità elettrica e misurazione della resistenza di percorso su loopback interni a ST o PCB

Leakage dei condensatori in condizioni di overtravel e senza carico

Carico della Probe Card in overtravel

Benchmark di performance

Benchmark di produttività

Contatti