Ridefinisce le performance nell’analisi delle Probe Card

Athena è uno strumento di metrologia di nuova generazione progettato per eseguire misurazioni ottiche, meccaniche ed elettriche POR sulle Probe Card con prestazioni superiori.
Allineamento ottico 3 volte più veloce
Flying probe loopback
Specifiche di allineamento verticale di 6 µm
Forza di 600 kg
Verifica dei collegamenti 3 volte più rapida
Misurazione della planarità ottica
Possibili configurazioni:

Probe Card analyzer con debug station
Permette un’analisi approfondita delle Probe Card e test al 100%.
Compatibile con le motherboard legacy.
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Probe Card analyzer con autoloader
Ideale per l’HVM throughput, consente la raccolta di dati statistici su diverse Probe Card.
Highlight
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Misurazione ottica ad alta precisione della posizione delle probe in X, Y e Z, inclusa la planarità
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Misurazione di probe a fine-pitch, fino a 25 µm
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Supporto per molteplici tipologie di probe in un singolo array
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Sistema di visione flessibile e ricco di funzionalità per una vasta gamma di tipi di probe
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Morfologia 3D della punta della probe
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Misurazione della lunghezza libera della punta della probe
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Elevato numero di canali: 9216
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Misurazione della planarità elettrica con e senza caricamento
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Test loopback DC
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Test board-only
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Stabilità della resistenza di contatto su diverse metallurgie delle punte delle probe
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Test ad alta frequenza (loopback AC)
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Forza elevata sull’array fino a 600 kg
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Compatibile con wafer interi da 12’’/300 mm
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Closed-loop stages con encoder da 0,01 μm
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Alta precisione e stabilità: dimostrata correlazione tra strumenti su tutta la flotta
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Interfaccia intercambiabile: compatibile con probecard di qualsiasi piattaforma tester (V93k, Ultraflex, HDMT…)
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Completamente automatizzato: esecuzione di qualsiasi suite di test
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Analisi dei dati di test
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Opzioni: autoloader per molteplici probecard o debug station

Potenzialità di misurazione
Allineamento ottico tramite sistema di ispezione 3D (WLI, interferometro a luce bianca)
Planarità elettrica senza carico tramite post
Planarità elettrica con carico tramite piastra
Resistenza di contatto su piastra conduttiva
Leakage in condizioni di overtravel e senza carico
Test dei condensatori con misurazione del valore in farad
Test delle resistenze con misurazione del valore in ohm
Verifica della continuità elettrica e misurazione della resistenza di percorso su loopback interni a ST o PCB
Leakage dei condensatori in condizioni di overtravel e senza carico
Carico della Probe Card in overtravel
Misure | Capacità di Athena (σ) | Comparazione con Legacy Analyzer |
Optical Alignment @WLI | X/Y = 0.16 um | 2x meglio |
Z = 0.15 um | N/A | |
LEP@Plate | 0.3 um | 2.75x meglio |
Cres@Plate | 0.005 Ohm | 5x meglio |
Array Force | 0.25 kg | N/A |
Benchmark di performance
Misure | Tempo di acquisizione di Athena | Tempo di acquisizione Legacy |
Optical Alignment @WLI | 90 min | 240 min |
Cres@Plate | 90 sec | 15 min |
Leak@Free | 3 min | 5 min |
CAP | 4 min | 20 min |
UEP | > 7 p/sec | 2 p/sec |